我公司設備是美國intel公司FAB7廠6英寸生產線設備，現有大量設備和全新零配件。便凈化、真空封箱、打包，所以設備保養狀況、性能狀況均良好。受到無錫華潤上華半導體有限公司（CSMC），深圳安博電子有限公司等客戶的廣泛認可，在業界有良好口碑。公司主要經營產品：前道制程設備及其輔助設備，有Applied Materials沉積設備、Lam Reasearch蝕刻設備、SSI傳送設備(適用于4，5，6寸生產線)、Gasonics除膠設備、Electroglas探針設備、Verteq漂干設備以及前道各種設備的零配件......
主機設備清單
名稱 型號 廠家 年代
CVD ILD Dep Amat 5000 Applied Materials 1992--1995
CVD W Dep Amat 5000 Applied Materials 1992
LRC Etcher AE 480 LAM Research Corp. 1985
LRC Poly Etcher 490 LAM Research Corp. 1986
LRC Poly Etcher 490B LAM Research Corp. 1987--1993
LRC Nit/Diel Etcher 490B LAM Research Corp. 1990--1991
Microwave Asher AURA 1000 Gasonics International 1989--1995
AMAT Metal Etcher AMAT 8330 Applied Materials 1991--1994
AMAT Oxide Etcher AMAT 8310 Applied Materials 1988--1996
Prober EG2001X,EG2001CX,EG2010 ELECTROGLAS 1984--1996
Rinser Dryer 1600(double ) Verteq (Rhetech, Inc.) 1990--1993
SSI Track 500 BAY 900 Semiconductor Systems, Inc. 1990
SSI Track 150 BAY 910 Semiconductor Systems, Inc. 1990
SSI Track 150 Semiconductor Systems, Inc. 1990--1993
SSI Track 500 Semiconductor Systems, Inc. 1989--1998
Biorad Q2 Req. Q5 Quaestor 1994
設備輔機清單
Amat 5000 所屬附機4套
輔機：1,Heat Exchanger 2,Transformer 3,Miscellaneous 4,Gas Cabinet/Box
5,Etch Interface Unit 6,RF Generator 7,Generator
8,AC Remote Panel/RF Gen 9, Miscellaneous/Monitor 10,Gas Box
11, Monitor Ar
490B 所屬附機10套
輔機：1, Chiller 2, Monitor 3, Monitor/Remote
AMAT 8330 所屬附機4套
輔機：1, RF Generator 2, Miscellaneous 3, Miscl/Monitor 4, Power Supply 5, Arm
6, Electrical Box 7, Cables
AMAT 8310 所屬附機10套
輔機：1, Miscellaneous 2, Chiller 3, VME 4, RF Generator 5, Heat Exchanger
6, Load Chamber/Heat Exchanger
7, Miscl/Cables 8, Arm 9, Power Supply 10, Generator 11, Cables
500 BAY 900 所屬附機17套
輔機：1, Chiller 2, Roll Around/Power Supply 3, Chemical Cabinet/Power Conditioner
4, Miscl/Power Conditioner 5, Chemical Cabinet/RF Generator 6, Pwr. Conditioner 7, FTC Cabinet/Power Conditioner 8, Chemical Cabinet
Q5 所屬附機2套
輔機：1,Power Supply 2, Miscellaneous 3, Stage 4, Stage/Optics
除此外我公司還有大量Edwards單泵和組合泵
Edwards Pump：
Qdp40, Qdp40/Qmb250, Qdp40/Qmb500
Iqdp80, Iqdp80/qmb500 ， Iqdp80/Iqmb250， Iqdp80/Iqmb500
上述機臺都有輔助配套設備.是完整的機臺套.另公司還有大量全新零配件
詳細清單歡迎索要
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