作為行業(yè)領(lǐng)先的傳感器解決方案供應(yīng)商，ifm易福門憑借創(chuàng)新技術(shù)與智能化應(yīng)用，為半導(dǎo)體制造的各個(gè)環(huán)節(jié)提供了卓越的解決方案，助力企業(yè)優(yōu)化生產(chǎn)流程、降低運(yùn)營(yíng)成本。
特別是在Sub-fab（工廠輔助設(shè)施）流程中，自動(dòng)化技術(shù)的應(yīng)用正逐漸成為提升效率與可持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵。今天，讓我們深入探討ifm如何通過創(chuàng)新解決方案，助力這一領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)降本增效。
化學(xué)品輸送系統(tǒng)（CDS）的智能化升級(jí)
化學(xué)品在半導(dǎo)體生產(chǎn)的多個(gè)階段發(fā)揮著重要作用，包括沉積、光刻膠涂覆、光刻、蝕刻、清洗、薄膜沉積和拋光等。為確保化學(xué)品的純度，非接觸式液位測(cè)量技術(shù)被廣泛應(yīng)用。ifm的電容式測(cè)量技術(shù)通過簡(jiǎn)單的空罐調(diào)整和顯示指南，有效克服了管道或儲(chǔ)罐壁上氣泡或附著物帶來的挑戰(zhàn)。
KQ10系列連續(xù)性監(jiān)控液位傳感器：該系列傳感器可安裝在非金屬儲(chǔ)罐外壁，實(shí)現(xiàn)料位監(jiān)測(cè)。其配備的清晰可見的LED百分比顯示，使用戶能夠輕松掌握液位變化。此外，它還提供三個(gè)點(diǎn)料位監(jiān)測(cè)位置，可靠區(qū)分空載、滿載和溢流狀態(tài)。
KI60系列電容式接近開關(guān)：該系列開關(guān)可在介質(zhì)內(nèi)或介質(zhì)外運(yùn)行，透過非金屬儲(chǔ)罐壁進(jìn)行檢測(cè)，有效抑制沉積物的影響。結(jié)合IO-Link技術(shù)，將點(diǎn)液位檢測(cè)系統(tǒng)升級(jí)為實(shí)時(shí)液位狀態(tài)監(jiān)測(cè)，為企業(yè)提供更精準(zhǔn)的化學(xué)品管理。
設(shè)備健康管理：通過預(yù)測(cè)性維護(hù)提升設(shè)備可用性
在半導(dǎo)體制造過程中，真空系統(tǒng)是維持無菌環(huán)境的關(guān)鍵支持系統(tǒng)，干式真空泵的穩(wěn)定運(yùn)行至關(guān)重要。ifm通過振動(dòng)監(jiān)測(cè)、流量監(jiān)測(cè)和溫度監(jiān)測(cè)，為設(shè)備健康管理提供了全方位的解決方案：
基于振動(dòng)監(jiān)測(cè)的預(yù)測(cè)性維護(hù)
ifm振動(dòng)傳感器（VSA）和振動(dòng)分析模塊（VSE）可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)泵的健康狀況，防止增壓泵和干泵發(fā)生災(zāi)難性故障。通過監(jiān)測(cè)沖擊、疲勞、摩擦、嚴(yán)重程度和溫度等五個(gè)方面的機(jī)器問題，以及滾動(dòng)軸承等特定部件，傳感器能夠提前檢測(cè)到即將發(fā)生的故障，減少計(jì)劃外停機(jī)時(shí)間，實(shí)現(xiàn)能源優(yōu)化。
通過持續(xù)監(jiān)測(cè)流量確保適當(dāng)?shù)睦鋮s效果
冷卻水用于散發(fā)泵內(nèi)壓縮過程中產(chǎn)生的熱量。ifm的SU超聲波流量計(jì)采用無機(jī)械部件的設(shè)計(jì)，提供高精度測(cè)量，最大限度地減少壓降，確保冷卻工藝的高效運(yùn)行。
通過連續(xù)測(cè)量溫度保持泵的功能
泵的外殼溫度升高通常表明摩擦增加，可能導(dǎo)致泵故障。ifm的TP + TS分體式測(cè)溫方案可對(duì)泵體表面溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，避免因溫度異常導(dǎo)致的停機(jī)時(shí)間。
通過IO-Link技術(shù)，所有傳感器采集的數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)發(fā)送到更高層級(jí)的軟件系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)趨勢(shì)預(yù)測(cè)和分析，為企業(yè)提供實(shí)時(shí)的設(shè)備健康監(jiān)測(cè)。
超純水系統(tǒng)的智能化管理
超純水是半導(dǎo)體生產(chǎn)中的關(guān)鍵資源，因?yàn)榧词故俏⑿〉碾s質(zhì)也會(huì)導(dǎo)致重大的生產(chǎn)損失，導(dǎo)致數(shù)百小時(shí)的半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)無效。ifm為超純水系統(tǒng)的各個(gè)環(huán)節(jié)提供了智能化監(jiān)測(cè)解決方案：
通過電導(dǎo)率測(cè)量確保水質(zhì)
ifm的LDL電導(dǎo)率傳感器是一種高性價(jià)比的解決方案，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)水中低至0.04μS/cm的電導(dǎo)率，確保供水系統(tǒng)的穩(wěn)定和高效運(yùn)行，指導(dǎo)凈化工藝的調(diào)整。
超純水出水管 | 產(chǎn)出流量監(jiān)測(cè)
SU Puresonic超聲波流量傳感器采用超聲波技術(shù)，可精確測(cè)量高達(dá)1000L/min的超純水流量，并集成溫度測(cè)量功能，提供高度準(zhǔn)確的在線測(cè)量過程，確保工藝的一致性和產(chǎn)品質(zhì)量。
通過高準(zhǔn)確度液位測(cè)量改善水的分配
ifm的LW非接觸式雷達(dá)液位傳感器采用80 GHz測(cè)量技術(shù)，可對(duì)高達(dá)10米的儲(chǔ)罐進(jìn)行高精度測(cè)量（±2 mm），確保資源的可用性、防止干轉(zhuǎn)并優(yōu)化水的利用率，避免因液位監(jiān)測(cè)不準(zhǔn)確導(dǎo)致的系統(tǒng)故障。
此外，ifm傳感器產(chǎn)品在晶圓加工、CMP工藝以及內(nèi)物流都有廣泛應(yīng)用。
如果您希望了解更多ifm產(chǎn)品在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用，請(qǐng)
點(diǎn)擊這里查看
也歡迎聯(lián)系ifm的技術(shù)團(tuán)隊(duì)：400-880-6651
同時(shí)也歡迎在3月26日-28日來到上海新國(guó)際博覽中心，我們的半導(dǎo)體行業(yè)工程專家將在E6展館6276展位為您提供個(gè)性化的解決方案，助力您的晶圓制造工廠實(shí)現(xiàn)智能化升級(jí)！
我們還為您帶來了兩本專屬半導(dǎo)體行業(yè)的解決方案，期待與您面對(duì)面交流！
