企業空間 > 案例應用 > 正文

仰賴 Beckhoff 技術控制藍色激光
發布時間：2009/8/5 10:08:06 修改時間：2009/8/5 9:59:59 瀏覽次數：2496

光刻系統的要求非常嚴苛：它們要快速、重復、經濟高效地批量制作高精度光掩碼，尺寸最大為 4 m2。關鍵要求是激光束的定位精度。這一切都基于一個具有高精度幾何結構的減振機架、堅固耐用的高速自動化系統和精確的測量值補償。
Artec Engineering GmbH 的常務董事 Tobias Reiter 在對公司采用 Beckhoff 產品作為控制設備平臺時的決策評價時說道：“我們決定選用 Beckhoff 基于 PC 的自動化系統是因為我們對系統精度及堅固性有著極為嚴格的要求?；谖覀円酝e累的經驗來看，我們深信該系統能夠滿足性能、穩定性及控制特性方面的高要求?！?br>

與此同時，Kleo 進行了大量的市場調研，證明了 Beckhoff 產品具備高速率、不受外界干擾（如振動影響）的特性。Kleo 公司的光刻系統經理 Stefan Scharl 說道：“通過我們的研究，以及 FISW Steuerungstechnik GmbH 與 Stuttgart 大學合作進行的有關激光光刻系統驅動尺寸課題得出的研究結果，加上 Artec 公司的大力推薦，我們絕對相信 Beckhoff 產品是我們的最佳選擇。”

        機械設計是確保精度的前提
        機架由一個手動放置（精度為 2 μm）的防振花崗巖基體、一個懸空的花崗巖架及兩個懸空的滑塊構成。激光和一個自動對焦系統安裝在滑塊上，它以 1 m/s 的速度和 10 m/s2 的加速度將激光二極管縱向移動到基底的上方。三噸重的花崗巖架將裝置橫向移動，定位精度為 2.5 μm。壓力系統控制對焦和激光束的橫向偏移。為了制作出所需的結構，在運動過程中不定地對激光束進行脈沖。通過 EtherCAT 實現極速加工
        控制系統的核心部分是一臺 Beckhoff 控制柜式工控機 C6140（操作系統為 Windows XP 專業版）和 TwinCAT 自動化軟件。“高速數據傳輸和處理是精確激光定位的前提條件。因此，我們只使用高性能組件，如工控機 C6140、EtherCAT 總線系統和 EtherCAT 端子模塊?！盩obias Reiter 如是說。Stefan Scharl 補充道：“這讓我們能夠獲得高采樣率、短周期時間（約 50 μs）和穩定的實時能力，它們都是激光束高精度定位的基礎。
        光刻系統的每根軸都有一個現場總線端子盒，用一根單獨的電纜連接至控制柜?！斑@樣可減少布線工作量和拖纜數量，這一點對我們來說特別關鍵?！盨tefan Scharl 高興地說道?！拔覀兿胍獪p少拖纜的使用量，用玻璃光纖來代替，以減少機械故障發生幾率?！?“我們使用 PROFIBUS 連接現場總線端子盒和控制裝置，包括 PC 和手持裝置。由于 EtherCAT 具有開放性，其它協議，如 PROFIBUS，也可通過總線端子模塊系統輕松集成?！?Tobias Reiter 解釋道。
        借助 Beckhoff 驅動技術實現高精度定位
        “直線電機用于移動龍門架和滑塊，而自動對焦系統的部件則由伺服電機驅動。電機由 Beckhoff AX2xxx 系列數字式伺服驅動器驅動。結合 TwinCAT 自動化軟件，我們能夠精確定位激光，且重復精度高?！盩obias Reiter 如此說道?！氨M管滑塊運動具有高動態性，我們仍能夠實現勻速運動，在短暫的加速階段后，速度公差小于 0.01 m/s?！?直線電機為反向旋轉?！斑@樣一來，我們就能夠避免高扭矩并可實現脈沖推力補償。為了避免受到干擾，龍門架中兩根電氣獨立的直線電機借助 TwinCAT NC PTP 通過耦合實現同步，精度可達 5 μm?！?br>        龍門架與滑塊的每次移動都需要激活和取消激活空氣軸承。 “這一過程必須快速、精確，位置上無任何變動?！盨tefan
        AX2xxx 系列伺服驅動器，用于控制高動態直線電機
        Scharl 闡釋道?！癇eckhoff 控制器完全能夠應對這一挑戰。它們堅固耐用，甚至在從無摩擦到摩擦狀態轉換過程中也足以避免出現峰谷?！?br>        長度測量傳感器可監視當前的龍門架和滑塊位置，并且，測得的數據直接通過伺服驅動器處理。干擾儀測量激光束的當前位置。位置數據在測量數值補償單元中加以分析，并作為控制激光束定位用壓力系統的基礎。“甚至可通過 Beckhoff 組件將外部驅動系統，如壓力系統，集成入自動化解決方案中，不會影響整個系統的性能?！盨tefan Scharl 說道。
        “由于外形小巧，并集成有 EMC 過濾器和可插拔式連接器，我們能夠輕松地在控制柜中安裝伺服驅動器?！盩obias Reiter 如是說。由于位置測量裝置具有熱敏性，功率電子元件安裝在清潔室外的控制柜內?！盀榱舜_保能充分曝光，光纖電纜不能太長。第二個控制柜內包含有激光光纖耦合器，測量裝置安裝在系統附近的清潔室內，并在曝光過程中以與龍門架平行的方向移動?！盨tefan Scharl 說道。用于龍門架的直線電機和用于控制柜的驅動器通過 PLC 控制器作為主站和從站軸耦合。
        具有高度靈活性，適用于批量生產
        串聯系統一個重要的成功要素就是靈活性?！坝捎?Beckhoff I/O 系統后續擴展的模塊性，修改和重新配置都簡單易行。這使得我們能夠根據客戶要求進行修改，如可以毫不費力地更改光源數量。”Stefan Scharl 解釋說。Tobias Reiter 補充道：“此外，我們用軟件而不是硬件創建了多個功能，如安全功能：通過引用總線端子模塊系統中的安全端子模塊，我們能夠便捷地實施安全功能，如急停和安全門電路或通過調整或更換軟件進行其它修改。”

企業介紹

倍福（Beckhoff）是一家專注于自動化新技術的德資企業，創立于 1980 年，總部位于德國威爾市。作為全球自動化技術的驅動者，倍福定義了自動化領域的許多標準，是國際標準的制定者和推動者。公司所生產的工業 PC、I/O 和現場總線組件、驅動技術、自動… 更多>>

產品分類

聯系方式

倍福中國自動化有限公司

聯系人：中國區總部

地址：上海市靜安區汶水路299弄9-10號市北智匯園4號樓

郵編：200072

電話：021- 66312666

傳真：021- 66315696

公司網址：http://www.beckhoff.com.cn/

該空間手機版

掃描此二維碼即可訪問該空間手機版

在線反饋

1.我有以下需求：
得到貴公司產品詳細資料得到貴公司產品的價格信息貴公司產品銷售人員聯系我貴公司技術支持人員聯系我
2.詳細的需求：
*
姓名:	*
單位:
電話:	*
郵件:	*

您還沒有登錄,請登陸, 如果您還沒有注冊,點擊這里注冊.

網友反饋

岳賢磊 在2025/4/13 23:12:00留言
留言類型：我讓貴公司產品銷售人員聯系我,
詳細留言：HMI 顯示屏和力臂

蘇菽平 在2024/12/27 11:22:00留言
留言類型：我想得到貴公司產品的價格信息,
詳細留言：KM6551

羅先生 在2024/12/5 14:47:00留言
留言類型：貴公司產品銷售人員聯系我,
詳細留言：采購

何在2024/9/24 11:53:00留言
留言類型：我讓貴公司產品銷售人員聯系我,
詳細留言：采購

陳在2024/6/13 17:44:00留言
留言類型：我想得到貴公司產品的價格信息,
詳細留言：沖程電機型號：AM8553-0L1B-0000 品牌：BECKOFF 10臺

更多請進入空間管理中心查看

日本福利一区_最近中文高清在线观看_免费黄色电影在线观看_亚洲天堂成人在线 - 91人人

倍福中國自動化有限公司