Canon-machinery I-1230 步進(jìn)式光刻機(jī)


 

用于存儲(chǔ)器布線(xiàn)成膜(Memory Wiring Deposition)的大規(guī)模量產(chǎn)化PVD設(shè)備(12“硅片)。

I-1230用于半導(dǎo)體存儲(chǔ)器互連行業(yè)的傳導(dǎo)金屬加工處理。我們獨(dú)創(chuàng)的Caera陰極技術(shù)在反應(yīng)性放電或者在高應(yīng)力材料處理情況下都能保證良好的均一性及極少量particle的產(chǎn)生。擁有這些功能，I-1230能夠?qū)崿F(xiàn)高成品率及高生產(chǎn)率，可大大降低生產(chǎn)成本。

AELA陰極：通過(guò)in-situ每個(gè)制程工藝(RECIPE)的調(diào)整，可以方便的對(duì)陰極磁鐵位置（3軸）的可變均一性、清潔做到最優(yōu)化調(diào)節(jié)處理。

生產(chǎn)量： 80wfs/H 達(dá)到世界最高水準(zhǔn)

運(yùn)轉(zhuǎn)率：>90% 半導(dǎo)體存儲(chǔ)器生產(chǎn)線(xiàn)（故障率<1%）