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深圳市東測科技有限公司
  • Canon-machinery FPA-6000ES6a 步進式光刻機  
  • 發布時間：2017/6/30 17:21:49   修改時間：2017/6/30 17:21:49 瀏覽次數：1469
  • Canon-machinery FPA-6000ES6a 步進式光刻機

  • Canon-machinery FPA-6000ES6a 步進式光刻機



    實現90nm以下分辨力的高性能KrF曝光裝置(FPA-6000ES6a)

    FPA-6000ES6a的設計理念

    追求高分辨力

    裝有數值孔徑NA0.86的透鏡

    采用高效率的照明系統，用高強度RET照明提高生產效率

    強化像差校正機構

    采用已經擁有業績的FPA－6000系列工作臺(platform)確保設備穩定運行

    實現了高精度對位

    進給芯片的溫度穩定化對策

    裝置內空間氣流控制的最佳化

    對應高數值孔徑(High NA)的調焦系統

    即使在高數值孔徑(Hign NA)條件下，仍可確保充分的調焦寬容度

    采用新的校準機構


  • 企業介紹
深圳市東測科技有限公司公司現貨銷售、租賃惠普（安捷倫）、泰克、安立、愛得萬、橫河、安騰、力科、馬可尼（IFR）、R&S、Exfo等品牌之眼圖儀、光譜分析儀、光時域反射儀(OTDR)、可調激光源、光功率計、光衰減器、光纖熔接機等光纖通信儀…  更多>>
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深圳市東測科技有限公司

聯系人：黃文俊

地址：深圳市龍華新區人民南路萊蒙水榭春天7棟鳳凰苑24C/24D

郵編：518131

電話：13928415151

傳真：0755-83176509

公司網址：http://www.itestworld.com

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