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深圳市東測科技有限公司
  • Canon-machinery FPA-5510iZ 步進式光刻機  
  • 發布時間：2017/6/30 17:21:02   修改時間：2017/6/30 17:21:02 瀏覽次數：1592
  • Canon-machinery FPA-5510iZ 步進式光刻機

  • Canon-machinery FPA-5510iZ 步進式光刻機





    對應粗糙層(Rough Layer) 的高生產效率i－線曝光裝置。

    5510iZ的設計理念

    對應高生產效率的光學系統

    已實現高生產效率的高照度照明系統的進一步改良

    采用高亮度水銀燈

    采用已擁有業績的FPA-5000系列工作臺(platform)

    采用可靠性高的FPA-5500系列工作臺(platform) 確保裝置穩定運行

    實現了高精度對位性能

    降低芯片因受曝光熱產生變形的對策

    平臺空間氣流控制的最佳化

    投片率的進一步提高

    采用已實現高生產效率的新型芯片臺

  • 企業介紹
深圳市東測科技有限公司公司現貨銷售、租賃惠普（安捷倫）、泰克、安立、愛得萬、橫河、安騰、力科、馬可尼（IFR）、R&S、Exfo等品牌之眼圖儀、光譜分析儀、光時域反射儀(OTDR)、可調激光源、光功率計、光衰減器、光纖熔接機等光纖通信儀…  更多>>
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深圳市東測科技有限公司

聯系人：黃文俊

地址：深圳市龍華新區人民南路萊蒙水榭春天7棟鳳凰苑24C/24D

郵編：518131

電話：13928415151

傳真：0755-83176509

公司網址：http://www.itestworld.com

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