為了應(yīng)對(duì)產(chǎn)品微小化的趨勢(shì)，提高制造過(guò)程的精度和準(zhǔn)度，勢(shì)在必行。只要精準(zhǔn)度提高了，機(jī)器的產(chǎn)量和產(chǎn)值自然就會(huì)增加，所以業(yè)界流行一句話：“精度提高一倍，產(chǎn)品價(jià)格翻十倍”。
那提高精準(zhǔn)度的關(guān)鍵在哪里呢？在制造過(guò)程中，傳動(dòng)組件扮演著關(guān)鍵的角色，尤其像半導(dǎo)體行業(yè)等要求精密運(yùn)動(dòng)控制的領(lǐng)域，如果傳動(dòng)組件精準(zhǔn)度不夠，就會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)時(shí)的機(jī)械手臂或者導(dǎo)軌上的裝置，在移動(dòng)時(shí)“差之毫厘”，導(dǎo)致組裝、加工的位置產(chǎn)生偏移，從而讓精度要求動(dòng)輒在幾微米的生產(chǎn)過(guò)程“失之千里”，因此需要將誤差控制在微米等級(jí)。
例如XY滑臺(tái)在微距移動(dòng)的實(shí)際應(yīng)用中，常常因?yàn)檎嬷倍炔疃a(chǎn)生蛇行幅動(dòng)的狀況，而真直度較差的來(lái)源可能包含組裝誤差、螺桿精度和校正手法。
XY滑臺(tái)只有移動(dòng)軸的自由度，若導(dǎo)軌加工不良、組裝不良，會(huì)造成角度的誤差，從而機(jī)臺(tái)在組裝時(shí)造成空間誤差，所以必須量測(cè)出角度的誤差，知道誤差后就可以補(bǔ)償，進(jìn)而降低誤差。
以高精度晶圓檢測(cè)為例，高精度晶圓檢測(cè)要求的精度很高，組件間的間距很小，但常因?yàn)橛布南拗疲瑹o(wú)法很有效地達(dá)到所需的精度，所以需要依靠2D誤差補(bǔ)償來(lái)做細(xì)微的調(diào)整。
凌華科技2D誤差補(bǔ)償技術(shù)，如果使用者想要依據(jù)測(cè)量計(jì)算的結(jié)果補(bǔ)償X與Y方向的位置，需要先建立在對(duì)應(yīng)的坐標(biāo)上，對(duì)X軸向與Y軸向需補(bǔ)償?shù)奈恢弥担⑻峁┛刂破飨嚓P(guān)的設(shè)定值，包含距離間距與補(bǔ)償。
開(kāi)啟誤差補(bǔ)償功能后，控制器的軸控制命令中，輸出的位置命令會(huì)疊加需要補(bǔ)償?shù)奈灰屏浚韵郎y(cè)量出的已知的誤差量。
現(xiàn)在能提供2D誤差補(bǔ)償技術(shù)的廠商并不多見(jiàn)，而在工業(yè)自動(dòng)化運(yùn)動(dòng)控制領(lǐng)域深耕20多年凌華科技推出了2D誤差補(bǔ)償技術(shù)，支持其高性能及高精確度的集中式運(yùn)動(dòng)控制器AMP-204C/208C，以及凌華APS Function Library通用函數(shù)庫(kù)，能大幅減少開(kāi)發(fā)時(shí)間、加快上線速度，已應(yīng)用于半導(dǎo)體、顯示器、傳統(tǒng)制造業(yè)等高精度運(yùn)動(dòng)控制場(chǎng)合。
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