
什么是TONiC?
TONiC是雷尼紹推出的超小型非接觸式增量式光柵系統,速度可達10 m/s,與Ti接口配套使用時,在線性和旋轉應用中分辨率達1 nm。由于安裝公差大,并且只需按下按鈕即可進行校準,因此TONiC系統的安裝快捷簡單。TONiC的動態信號處理功能可提高信號穩定性,而且電子細分誤差超低,通常小于±30 nm,從而有助于實現卓越的運動控制性能。
TONiC UHV將增量式光柵技術引入低至10-10 Torr的超高真空應用中,這類應用要求在緊湊的外形中保持高性能。
柵尺選項
●直線柵尺用于提供直線位置信息 — 通常是X軸、Y軸或Z軸。
●圓光柵用于提供角度位置信息以及對旋轉元件進行運動控制。
帶碼道選項的不銹鋼鋼帶
細窄型不銹鋼鋼帶柵尺
ZeroMet直線硬柵尺
不銹鋼直線硬柵尺
鍍金鋼帶
不銹鋼圓光柵
超高精度不銹鋼圓光柵